 |
М. К. ФіляшкінМікроелектромеханічні системиРозглянуто основні типи мікросистемних пристроїв, їх характеристики, принципи роботи та базові технології мікроелектроніки і виготовлення об’ємних структур мікросистем; наведено класифікації мікросистемної техніки Зміст навчального посібника узгоджується з програмою спільного європейського проекту «Curricula Development for New Specialization: Master of Engineering in Microsystems Design», який підтримується Європейським Союзом і має, зокрема, за мету впровадження сучасних мікросистемних технологій у поточну програму бакалаврів в українських університетах. Для студентів спеціальності 151 «Автоматизація та комп'ютерно-інтегровані технології». Може бути корисним для аспірантів та науковців, які спеціалізуються в галузі проектування та дослідження мікросистемних пристроїв. |
Специфікація
|
Стислий змістПерелік умовних скорочень Вступ Частина I. Методи та технології виробництва мікроелектромеханічних систем Розділ 1. Структуры елементи мікроелектромеханічних систем Розділ 2. Базові матеріали для мікромеханічних систем Розділ 3. Базові технології мікроелектроніки, що застосовуються для виготовлення мікроелектромеханічних систем Розділ 4. Технології виготовлення об’ємних структур мікроелектромеханічних систем Розділ 5. Технології корпусування мікроелектромеханічних систем Частина II. Мікроелектронні датчики фізичних величин Розділ 6. Датчики тиску Розділ 7. Мікровитратоміри Розділ 8. Датчики температури Розділ 9. Електроакустичні мікромехан1чні датчики Розділ 10. Датчики магнітного поля Розділ 11. Мікроелектромеханічн1 акселерометри Розділ 12. Мікромеханічні гіроскопи Частина ІІІ. Мікромеханізми га мікроприводи Розділ 13. Актюаторні елементи мікроелектромеханічних систем Розділ 14. Мікродвигуни Розділ 15. Механічні мікропередачі Розділ 16. Технологічні мікросистеми Післямова Список літератури |
|
|
|
- Home
- Автоматизація та приладобудування
- Мікроелектромеханічні системи